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Effect of high temperature annealing on the electrical performance of titanium/platinum thin films

Effect of high temperature annealing on the electrical performance of titanium/platinum thin films

U. Schmid; H. Seidel

作者U. Schmid; H. Seidel
卷第516卷
期第6期
印刷ISSN0040-6090
文件大小1667.13KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.tsf.2007.04.128
页码898-906

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