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Nanocrystalline SiC films prepared by direct deposition of carbon and silicon ions

Nanocrystalline SiC films prepared by direct deposition of carbon and silicon ions

A.V. Semenov; V.M. Puzikov; M.V. Dobrotvorskaya; A.G. Fedorov; A.V. Lopin

作者A.V. Semenov; V.M. Puzikov; M.V. Dobrotvorskaya; A.G. Fedorov; A.V. Lopin
卷第516卷
期第10期
印刷ISSN0040-6090
文件大小235.50KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.tsf.2007.05.059
页码2899-2903

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