pMOS transistor with embedded SiGe: Elastic and plastic relaxation issues
A. Hikavyy; N. Bhouri; R. Loo; P. Verheyen; F. Clemente; J. Hopkins; R. Trussell; M. Caymax
- 作者A. Hikavyy; N. Bhouri; R. Loo; P. Verheyen; F. Clemente; J. Hopkins; R. Trussell; M. Caymax
- 卷第517卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0040-6090
- 文件大小365.37KB
- 发表时间2008
- DOI10.1016/j.tsf.2008.08.107
- 页码113-116