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Annealing effects on the structural properties of IrO2 thin films

Annealing effects on the structural properties of IrO2 thin films

Hyoun Woo Kim; Seung Hyun Shim; Ju Hyun Myung; Chongmu Lee

作者Hyoun Woo Kim; Seung Hyun Shim; Ju Hyun Myung; Chongmu Lee
卷第82卷
期第12期
印刷ISSN0042-207X
文件大小623.22KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.vacuum.2008.03.004
页码1400-1403

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