Hyperthermal neutral beam sources for material processing (invited)
Yoo, S. J.; Kim, D. C.; Joung, M.; Kim, J. S.; Lee, B. J.; Oh, K. S.; Kim, K. U.; Kim, Y. H.; Kim, Y. W.; Choi, S. W.; Son, H. J.; Park, Y. C.; Jang, J.-N.; Hong, M. P.
- 期刊名称Review of Scientific Instruments
- 作者Yoo, S. J.; Kim, D. C.; Joung, M.; Kim, J. S.; Lee, B. J.; Oh, K. S.; Kim, K. U.; Kim, Y. H.; Kim, Y. W.; Choi, S. W.; Son, H. J.; Park, Y. C.; Jang, J.-N.; Hong, M. P.
- 卷第79卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0034-6748
- 文件大小731.40KB
- 发表时间2008
- DOI10.1063/1.2801343