Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)

• 期刊名称tm - Technisches Messen
• 作者Fleischer, Jürgen; Buchholz, Ivesa; Peters, Jochen; Viering, Benjamin; Goch, Gert; Patzelt, Stefan; Tausendfreund, Andreas; Mehner, Jan; Dötzel, Wolfram; Shaporin, Alexey; Neuschaefer-Rube, Ulrich; Hilpert, Uwe; Simon, Sven; Tutsch, Rainer; Herbst, Christian; Weckenmann, Albert; Hoffmann, Jörg; Krämer, Philipp
• 卷第75卷
• 印刷ISSN0171-8096
• 文件大小655.83KB
• 发表时间2008-01
• DOI10.1524/teme.2008.0875