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Double patterning lithography: double the trouble or double the fun?

Double patterning lithography: double the trouble or double the fun?

Zimmerman, Paul

作者Zimmerman, Paul
印刷ISSN0028-0836
电子ISSN1476-4687
文件大小902.02KB
发表时间2009
DOI10.1117/2.1200906.1691

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