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Improved model-based infrared reflectrometry for measuring deep trench structures

Improved model-based infrared reflectrometry for measuring deep trench structures

Zhang, Chuanwei; Liu, Shiyuan; Shi, Tielin; Tang, Zirong
  • 期刊名称josaa/26/11/josaa-26-11-2327.pdf
  • 作者Zhang, Chuanwei; Liu, Shiyuan; Shi, Tielin; Tang, Zirong
  • 卷第26卷
  • 期第11期
  • 印刷ISSN1084-7529
  • 电子ISSN1520-8532
  • 文件大小756.25KB
  • 发表时间2009
  • DOI10.1364/JOSAA.26.002327
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