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Energetic Nanoporous Silicon Devices

Energetic Nanoporous Silicon Devices

Currano, L.J.; Churaman, W.A.

期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
作者Currano, L.J.; Churaman, W.A.
卷第18卷
期第4期
印刷ISSN1057-7157
电子ISSN1941-0158
文件大小1276.42KB
发表时间2009-08
DOI10.1109/JMEMS.2009.2023883
页码799-807

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