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Temperature effect on the nitrogen insertion in carbon nitride films deposited by ECR

Bouchet-Fabre, B.; Fernandez, V.; Gohier, A.; Parent, Ph.; Laffon, C.; Angleraud, B.; Tessier, P.Y.; Minea, T.M.

期刊名称Diamond and Related Materials
作者Bouchet-Fabre, B.; Fernandez, V.; Gohier, A.; Parent, Ph.; Laffon, C.; Angleraud, B.; Tessier, P.Y.; Minea, T.M.
卷第18卷
期第9期
印刷ISSN0925-9635
文件大小683.98KB
发表时间2009-9
DOI10.1016/j.diamond.2009.01.042
页码1091-1097