Micromachined thin film plate acoustic wave resonators (FPAR): Part II
- 期刊名称IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
- 作者Yantchev, V.; Arapan, L.; Katardjiev, I.
- 卷第56卷
- 期第12期
- 印刷ISSN0885-3010
- 文件大小1607.18KB
- 发表时间2009-12
- DOI10.1109/tuffc.2009.1361
- 页码2701-2710
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