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Microstructural analysis and mechanical properties of TaN–Ag nanocomposite thin films

Microstructural analysis and mechanical properties of TaN–Ag nanocomposite thin films

C.C. Tseng; J.H. Hsieh; S.C. Jang; Y.Y. Chang; W. Wu

作者C.C. Tseng; J.H. Hsieh; S.C. Jang; Y.Y. Chang; W. Wu
卷第517卷
期第17期
印刷ISSN0040-6090
文件大小624.22KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.tsf.2009.03.136
页码4970-4974

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