Stitching periodic submicron fringes by utilizing step-and-align interference lithography

Y. Chen; C. Chen; J. Chang; H. Chiu; G. Chen; C. Chiang; L. Chen; C. Tseng; C. Lee; J. Yen; L. A. Wang

作者Y. Chen; C. Chen; J. Chang; H. Chiu; G. Chen; C. Chiang; L. Chen; C. Tseng; C. Lee; J. Yen; L. A. Wang
文件大小1266.68KB
发表时间2009
DOI10.1116/1.3258152

发现好书期刊，享受阅读乐趣