Radial-Profile Control of Cylindrical Plasma Source With Multiple Low-Inductance Antenna Units
- 作者Kosuke Takenaka; Yuichi Setsuhara; Kazuaki Nishisaka; Akinori Ebe
- 卷第6卷
- 印刷ISSN1612-8850
- 电子ISSN1612-8869
- 文件大小193.99KB
- 发表时间2009
- DOI10.1002/ppap.200930609
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