Contactless magnetic temperature sensors for turbo-molecular pumps
O. Bottauscio; M. Chiampi; G. Crotti; F. Fiorillo; S. Giors; G. Pittà; C. Quartarone
- 作者O. Bottauscio; M. Chiampi; G. Crotti; F. Fiorillo; S. Giors; G. Pittà; C. Quartarone
- 卷第153卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0924-4247
- 文件大小994.00KB
- 发表时间2009
- DOI10.1016/j.sna.2009.05.012
- 页码212-217