Device-Level Vacuum Packaging for RF MEMS

Shahriar Rahman, M.; Chitteboyina, M.M.; Butler, D.P.; Çelik-Butler, Z.; Pacheco, S.P.; McBean, R.V.

作者Shahriar Rahman, M.; Chitteboyina, M.M.; Butler, D.P.; Çelik-Butler, Z.; Pacheco, S.P.; McBean, R.V.
卷第19卷
期第4期
印刷ISSN1057-7157
电子ISSN1941-0158
文件大小834.27KB
发表时间2010
DOI10.1109/jmems.2010.2055541

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