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Damascene Light-Weight Metals

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Tom Marr; Jens Freudenberger; Alexander Kauffmann; Juliane Scharnweber; Carl-Georg Oertel; Werner Skrotzki; Uwe Siegel; Uta Kühn; Jürgen Eckert; Ulrich Martin; Ludwig Schultz
  • 作者Tom Marr; Jens Freudenberger; Alexander Kauffmann; Juliane Scharnweber; Carl-Georg Oertel; Werner Skrotzki; Uwe Siegel; Uta Kühn; Jürgen Eckert; Ulrich Martin; Ludwig Schultz
  • 卷第12卷
  • 期第12期
  • 印刷ISSN1438-1656
  • 电子ISSN1527-2648
  • 文件大小805.01KB
  • 发表时间2010
  • DOI10.1002/adem.201000198
  • 页码1191-1197
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