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Iterative roller imprint of multilayered nanostructures

Iterative roller imprint of multilayered nanostructures

Keisuke Nagato; Shuntaro Sugimoto; Tetsuya Hamaguchi; Masayuki Nakao

作者Keisuke Nagato; Shuntaro Sugimoto; Tetsuya Hamaguchi; Masayuki Nakao
卷第87卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小329.09KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.mee.2009.11.029
页码1543-1545

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