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Optimizing dopant activation in Si:P double

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Sarah R. McKibbin; Warrick R. Clarke; Andreas Fuhrer; Michelle Y. Simmons

作者Sarah R. McKibbin; Warrick R. Clarke; Andreas Fuhrer; Michelle Y. Simmons
卷第312卷
期第21期
印刷ISSN0022-0248
文件大小963.55KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.jcrysgro.2010.08.003
页码3247-3250

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