Honeycomb voids due to ion implantation in germanium

R.J. Kaiser; S. Koffel; P. Pichler; A.J. Bauer; B. Amon; A. Claverie; G. Benassayag; P. Scheiblin; L. Frey; H. Ryssel

作者R.J. Kaiser; S. Koffel; P. Pichler; A.J. Bauer; B. Amon; A. Claverie; G. Benassayag; P. Scheiblin; L. Frey; H. Ryssel
卷第518卷
期第9期
印刷ISSN0040-6090
文件大小563.24KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.tsf.2009.09.138
页码2323-2325

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