Dopant incorporation in thin strained Si layers implanted with Sb
A.Yu. Azarov; A. Zamani; H.H. Radamson; L. Vines; A.Yu. Kuznetsov; A. Hallén
- 作者A.Yu. Azarov; A. Zamani; H.H. Radamson; L. Vines; A.Yu. Kuznetsov; A. Hallén
- 卷第518卷
- 期第9期
- 印刷ISSN0040-6090
- 文件大小426.93KB
- 发表时间2010
- DOI10.1016/j.tsf.2009.09.160
- 页码2474-2477