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Development of large diameter ECR plasma source

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Yoshinobu Kawai; Kiichiro Uchino; Hiroshi Muta; Shinji Kawai; Tobias Röwf

作者Yoshinobu Kawai; Kiichiro Uchino; Hiroshi Muta; Shinji Kawai; Tobias Röwf
卷第84卷
期第12期
印刷ISSN0042-207X
文件大小366.89KB
发表时间2010
DOI10.1016/j.vacuum.2009.12.023
页码1381-1384

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