Optimisation of surface passivation for highly reliable angular AMR sensors
M. Isler; B. Christoffer; G. Schoer; B. Philippsen; M. Mahnke; F. Vanhelmont; R. Wolters; R. Engelen; A. Opran; A. Thorns; W. Riethmueller; H. Matz; C. Tobescu; P. Stolk
- 作者M. Isler; B. Christoffer; G. Schoer; B. Philippsen; M. Mahnke; F. Vanhelmont; R. Wolters; R. Engelen; A. Opran; A. Thorns; W. Riethmueller; H. Matz; C. Tobescu; P. Stolk
- 卷第7卷
- 期第2期
- 印刷ISSN1610-1634
- 电子ISSN1610-1642
- 文件大小175.75KB
- 发表时间2010
- DOI10.1002/pssc.200982407
- 页码436-439