发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Composition and bonding structure of plasma-assisted ALD Al2O3 films

V. Verlaan; L. R. J. G. van den Elzen; G. Dingemans; M. C. M. van de Sanden; W. M. M. Kessels

作者V. Verlaan; L. R. J. G. van den Elzen; G. Dingemans; M. C. M. van de Sanden; W. M. M. Kessels
卷第7卷
印刷ISSN1610-1634
电子ISSN1610-1642
文件大小218.52KB
发表时间2010
DOI10.1002/pssc.200982891