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Titanium oxidation by RF inductively coupled plasma

Titanium oxidation by RF inductively coupled plasma

Alvarado, R. Valencia; Callejas, R. Lopez; Barocio, S.R.; Cabrera, A. Mercado; Eguiluz, R. Pena; Castro, A.E. Munoz; Beneitez, A. De la Piedad; Vazquez, J.M. De La Rosa
  • 期刊名称International Journal of Nanomanufacturing
  • 作者Alvarado, R. Valencia; Callejas, R. Lopez; Barocio, S.R.; Cabrera, A. Mercado; Eguiluz, R. Pena; Castro, A.E. Munoz; Beneitez, A. De la Piedad; Vazquez, J.M. De La Rosa
  • 卷第5卷
  • 印刷ISSN1746-9392
  • 电子ISSN1746-9406
  • 文件大小488.79KB
  • 发表时间2010
  • DOI10.1504/ijnm.2010.029923
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