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Dynamic binary collision simulation of focused ion beam milling of deep trenches

Dynamic binary collision simulation of focused ion beam milling of deep trenches

G. Hobler; D. Kovač

作者G. Hobler; D. Kovač
卷第269卷
期第14期
印刷ISSN0168-583X
文件大小413.31KB
发表时间2011
DOI10.1016/j.nimb.2010.12.076
页码1609-1613

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