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Oxygen-enhanced wet thermal oxidation of GaAs

Bauters, J. F.; Fenlon, R. E.; Seibert, C. S.; Yuan, W.; Plunkett, J. S. B.; Li, J.; Hall, D. C.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Bauters, J. F.; Fenlon, R. E.; Seibert, C. S.; Yuan, W.; Plunkett, J. S. B.; Li, J.; Hall, D. C.
卷第99卷
期第14期
印刷ISSN0003-6951
文件大小586.60KB
发表时间2011
DOI10.1063/1.3647579