Multilayer amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) and SiOx doped a-C:H films for optical applications

• 作者Asta Tamulevičienė; Šarūnas Meškinis; Vitoldas Kopustinskas; Sigitas Tamulevičius
• 卷第519卷
• 期第12期
• 印刷ISSN0040-6090
• 文件大小414.90KB
• 发表时间2011
• DOI10.1016/j.tsf.2011.01.181
• 页码4004-4007