Alleviating eSiGe Strain Relaxation Using Cryo-Implantation

Yang, C. L.; Li, C. I.; Lin, G. P.; Lai, I. M.; Liu, R.; Wang, H. Y.; Hsu, B. C.; Chan, M.; Wu, J. Y.; Guo, B. N.; Colombeau, B.; Wu, T.; Lu, S.

期刊名称Electrochemical and Solid-State Letters
作者Yang, C. L.; Li, C. I.; Lin, G. P.; Lai, I. M.; Liu, R.; Wang, H. Y.; Hsu, B. C.; Chan, M.; Wu, J. Y.; Guo, B. N.; Colombeau, B.; Wu, T.; Lu, S.
卷第14卷
期第11期
印刷ISSN1099-0062
文件大小191.33KB
发表时间2011
DOI10.1149/2.023111esl

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