Study on ultrasonic-assisted chemical mechanical polishing
Tso, Pei Lum; Tung, Chieh
- 期刊名称International Journal of Abrasive Technology
- 作者Tso, Pei Lum; Tung, Chieh
- 卷第4卷
- 期第2期
- 印刷ISSN1752-2641
- 电子ISSN1752-265X
- 文件大小665.56KB
- 发表时间2011
- DOI10.1504/IJAT.2011.043083