SIMS depth profiling of semiconductor interfaces: Experimental study of depth resolution function

• 作者Yu. Kudriavtsev; S. Gallardo; O. Koudriavtseva; A. Escobosa; V. M. Sanchez–R; M. Avendaño; R. Asomoza; M. Lopez-Lopez
• 卷第43卷
• 期第10期
• 印刷ISSN0142-2421
• 电子ISSN1096-9918
• 文件大小373.10KB
• 发表时间2011
• DOI10.1002/sia.3708
• 页码1277-1281