A Versatile Instrument for the Characterization of Capacitive Micro- and Nanoelectromechanical Systems
- 作者Buffa, C.; Tocchio, A.; Langfelder, G.
- 卷第61卷
- 期第7期
- 印刷ISSN0018-9456
- 电子ISSN1557-9662
- 文件大小1597.99KB
- 发表时间2012
- DOI10.1109/tim.2012.2182866
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