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Growth and characterization of epitaxial anatase TiO2(001) on SrTiO3-buffered Si(001) using atomic layer deposition

Growth and characterization of epitaxial anatase TiO2(001) on SrTiO3-buffered Si(001) using atomic layer deposition

M.D. McDaniel; A. Posadas; T. Wang; A.A. Demkov; J.G. Ekerdt

作者M.D. McDaniel; A. Posadas; T. Wang; A.A. Demkov; J.G. Ekerdt
卷第520卷
期第21期
印刷ISSN0040-6090
文件大小929.53KB
发表时间2012
DOI10.1016/j.tsf.2012.06.061

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