Characterization of β-Ga2O3 thin films on sapphire (0001) using metal-organic chemical vapor deposition technique

• 作者Yu Lv; Jin Ma; Wei Mi; Caina Luan; Zhen Zhu; Hongdi Xiao
• 卷第86卷
• 期第12期
• 印刷ISSN0042-207X
• 文件大小1304.08KB
• 发表时间2012
• DOI10.1016/j.vacuum.2012.04.019