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Thin-film piezoelectric MEMS

Thin-film piezoelectric MEMS

Eom, Chang-Beom; Trolier-McKinstry, Susan
  • 期刊名称MRS Bulletin
  • 作者Eom, Chang-Beom; Trolier-McKinstry, Susan
  • 卷第37卷
  • 期第11期
  • 印刷ISSN0883-7694
  • 电子ISSN1938-1425
  • 文件大小890.96KB
  • 发表时间2012-11
  • DOI10.1557/mrs.2012.273
  • 页码1007-1017
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