Pulvermetallurgisch hergestellte Sputtertargets
Adelhelm, Christoph; Winkler, Jörg; Linke, Christian; Franzke, Enrico; Köstenbauer, Harald
- 期刊名称Vakuum in Forschung und Praxis
- 作者Adelhelm, Christoph; Winkler, Jörg; Linke, Christian; Franzke, Enrico; Köstenbauer, Harald
- 卷第24卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0947-076X
- 文件大小438.52KB
- 发表时间2012-10
- DOI10.1002/vipr.201200501
- 页码34-38