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Nanofabrication || Atomic Layer Deposition for Nanotechnology

Nanofabrication || Atomic Layer Deposition for Nanotechnology

Stepanova, Maria; Dew, Steven

作者Stepanova, Maria; Dew, Steven
文件大小757.79KB
发表时间2012
DOI10.1007/978-3-7091-0424-8_6
页码143-161

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