Deposition of Carbon Nanotubes on CMOS

Xiaozhi Wang, ; Yan Zhang, ; Haque, M. M.; Teo, K. B.; Mann, M. B.; Unalan, H. B.; Warburton, P. A.; Udrea, F. A.; Milne, W. I.

期刊名称IEEE Transactions on Nanotechnology
作者Xiaozhi Wang, ; Yan Zhang, ; Haque, M. M.; Teo, K. B.; Mann, M. B.; Unalan, H. B.; Warburton, P. A.; Udrea, F. A.; Milne, W. I.
卷第11卷
期第2期
印刷ISSN1536-125X
电子ISSN1941-0085
文件大小602.23KB
发表时间2012-03
DOI10.1109/TNANO.2009.2038787
页码215-219

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