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Fundamental investigations of capacitive radio frequency plasmas: simulations and experiments

Donkó, Z; Schulze, J; Czarnetzki, U; Derzsi, A; Hartmann, P; Korolov, I; Schüngel, E

期刊名称Plasma Physics and Controlled Fusion
作者Donkó, Z; Schulze, J; Czarnetzki, U; Derzsi, A; Hartmann, P; Korolov, I; Schüngel, E
卷第54卷
期第12期
印刷ISSN0741-3335
电子ISSN1361-6587
文件大小4222.71KB
发表时间2012-12-01
DOI10.1088/0741-3335/54/12/124003