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Cold Cathode Sputtering in Glow Discharges

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Alberts, Ian L.; Barratt, David S.; Ray, Asim K.
  • 期刊名称Journal of Display Technology
  • 作者Alberts, Ian L.; Barratt, David S.; Ray, Asim K.
  • 卷第8卷
  • 期第8期
  • 印刷ISSN1551-319X
  • 电子ISSN1558-9323
  • 文件大小548.88KB
  • 发表时间2012-08
  • DOI10.1109/jdt.2012.2198194
  • 页码450-456
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