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Generating electron cyclotron resonance plasma using distributed scheme

Generating electron cyclotron resonance plasma using distributed scheme

Huang, C. C.; Chang, T. H.; Chen, N. C.; Chao, H. W.; Chen, C. C.; Chou, S. F.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Huang, C. C.; Chang, T. H.; Chen, N. C.; Chao, H. W.; Chen, C. C.; Chou, S. F.
卷第101卷
期第6期
印刷ISSN0003-6951
文件大小2116.31KB
发表时间2012
DOI10.1063/1.4745189

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