Состояние и перспективы развития конструктивно-технологических решений тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления

• 期刊名称Труды Международного симпозиума «Надежность и качество»
• 作者Торгашин С. И.
• 印刷ISSN2220-6418
• 文件大小434.39KB
• 发表时间2012
• DOI10.0000/cyberleninka.ru/article/n/sostoyanie-i-perspektivy-razvitiya-konstruktivno-tehnologicheskih-resheniy-tonkoplenochnyh-tenzorezistornyh-datchikov-davleniya