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Electron caustic lithography

Electron caustic lithography

Kennedy, S. M.; Zheng, C. X.; Fu, J.; Tang, W. X.; Paganin, D. M.; Jesson, D. E.

期刊名称AIP Advances
作者Kennedy, S. M.; Zheng, C. X.; Fu, J.; Tang, W. X.; Paganin, D. M.; Jesson, D. E.
卷第2卷
期第2期
电子ISSN2158-3226
文件大小541.17KB
发表时间2012-06
DOI10.1063/1.4730139

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