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Impurity engineering of Czochralski silicon

Impurity engineering of Czochralski silicon

Yu, Xuegong; Chen, Jiahe; Ma, Xiangyang; Yang, Deren
  • 期刊名称Materials Science and Engineering: R: Reports
  • 作者Yu, Xuegong; Chen, Jiahe; Ma, Xiangyang; Yang, Deren
  • 卷第74卷
  • 印刷ISSN0927-796X
  • 文件大小3761.11KB
  • 发表时间2013-1
  • DOI10.1016/j.mser.2013.01.002
  • 页码1-33
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