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Optimization of MEMS capacitive accelerometer

Optimization of MEMS capacitive accelerometer

Benmessaoud, Mourad; Nasreddine, Mekkakia Maaza
  • 期刊名称Microsystem Technologies
  • 作者Benmessaoud, Mourad; Nasreddine, Mekkakia Maaza
  • 卷第19卷
  • 期第5期
  • 印刷ISSN0946-7076
  • 电子ISSN1432-1858
  • 文件大小613.52KB
  • 发表时间2013-05
  • DOI10.1007/s00542-013-1741-z
  • 页码713-720
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