A Gap-Closing Electrostatic Actuator With a Linear Extended Range
- 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
- 作者Shmulevich, Shai; Rivlin, Ben; Hotzen, Inbar; Elata, David
- 卷第22卷
- 期第5期
- 印刷ISSN1057-7157
- 电子ISSN1941-0158
- 文件大小609.25KB
- 发表时间2013-10
- DOI10.1109/JMEMS.2013.2276027
- 页码1109-1114
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