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Wafer-Level Integration of High-Quality Bulk Piezoelectric Ceramics on Silicon

Wafer-Level Integration of High-Quality Bulk Piezoelectric Ceramics on Silicon

Aktakka, Ethem Erkan; Peterson, Rebecca L.; Najafi, Khalil
  • 期刊名称IEEE Transactions on Electron Devices
  • 作者Aktakka, Ethem Erkan; Peterson, Rebecca L.; Najafi, Khalil
  • 卷第60卷
  • 期第6期
  • 印刷ISSN0018-9383
  • 电子ISSN1557-9646
  • 文件大小1527.61KB
  • 发表时间2013-06
  • DOI10.1109/TED.2013.2259240
  • 页码2022-2030
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