Polyvinylpyrrolidones (PVPs): Switchable Leveler Additives for Damascene Applications
Hai, N. T. M.; Furrer, J.; Stricker, F.; Huynh, T. M. T.; Gjuroski, I.; Luedi, N.; Brunner, T.; Weiss, F.; Fluegel, A.; Arnold, M.; Chang, I.; Mayer, D.; Broekmann, P.
- 期刊名称Journal of the Electrochemical Society
- 作者Hai, N. T. M.; Furrer, J.; Stricker, F.; Huynh, T. M. T.; Gjuroski, I.; Luedi, N.; Brunner, T.; Weiss, F.; Fluegel, A.; Arnold, M.; Chang, I.; Mayer, D.; Broekmann, P.
- 卷第160卷
- 期第12期
- 印刷ISSN0013-4651
- 电子ISSN1945-7111
- 文件大小1373.97KB
- 发表时间2013-09-04
- DOI10.1149/2.019312jes