Fabrication of diffractive elements using matrix laser lithography
Škereň, Marek; Svoboda, Jakub; Květoň, Milan; Fiala, Pavel; Šulc, Miroslav; Kopecký, Václav; Lédl, Vít; Melich, Radek; Škereň, Marek
- 期刊名称EPJ Web of Conferences
- 作者Škereň, Marek; Svoboda, Jakub; Květoň, Milan; Fiala, Pavel; Šulc, Miroslav; Kopecký, Václav; Lédl, Vít; Melich, Radek; Škereň, Marek
- 卷第48卷
- 电子ISSN2100-014X
- 文件大小19855.61KB
- 发表时间2013
- DOI10.1051/epjconf/20134800023