Piezoelectric ultrasonic transducer based on flexible AlN
Mastronardi, Vincenzo Mariano; Guido, Francesco; Amato, Massimiliano; De Vittorio, Massimo; Petroni, Simona
- 期刊名称Microelectronic Engineering
- 作者Mastronardi, Vincenzo Mariano; Guido, Francesco; Amato, Massimiliano; De Vittorio, Massimo; Petroni, Simona
- 卷第121卷
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小1183.77KB
- 发表时间2014-06
- DOI10.1016/j.mee.2014.03.034
- 页码59-63